（株）日立ハイテクノロジーズは、液晶パネル製造装置の大型化、需要増に対応するため埼玉事業所（埼玉県児玉郡上里町）に新工場棟を建設する。建設着工は2006年8月、竣工は2007年3月の予定で、総投資額は約25億円。
湘南事業所（神奈川県足柄上郡中井町）、埼玉事業所の2拠点において液晶関連装置の製造を行っているが、生産スペースの拡大と生産効率向上のため、埼玉事業所に新たに工場棟（新C棟）を建設する。
幅60m、奥行き72m、天井高さ7mの広大なクリーンルームを備え、第6～第8世代に対応した露光装置を生産し、将来予想される第9世代に対応した装置の生産も可能。
また、湘南事業所で生産している液晶関連装置のうち大型重量製品を埼玉事業所に移管し、効率的な生産体制を構築し、新C棟の建設により、埼玉事業所における液晶関連装置の生産スペースは約1.4倍となり、さらなる生産拡大、顧客ニーズへのスピーディーな対応が可能となる。
新工場棟（新C棟）の概要
鉄骨造4階建
所在地：埼玉県児玉郡上里町嘉美1600番地
建築面積：6,040㎡
延べ床面積：16,533㎡
竣工予定：2007年3月
設備投資額：約25億円
