ニコンは8月6日、AｒF液浸スキャナーの生産能力を増強するため、熊谷製作所と栃木ニコンプレシジョンにそれぞれ新棟を建設し、増産体制を整えると発表した。
熊谷製作所と栃木ニコンプレシジョンは半導体露光装置の開発・生産の主力拠点であり、この新棟の建設により、露光機生産の全体的な効率を高め、ArF液浸スキャナーの生産能力を現在の倍以上の年間90台規模にまで拡大する。
投資額は、建物と生産設備を合わせて、2008年度から2010年度までの3ヵ年で約350億円を見込んでいる。
新棟の概要
熊谷製作所所在地：埼玉県熊谷市御稜威ケ原201-9
栃木ニコンプレシジョン所在地：栃木県大田原市実取760
延床面積：2棟合計約1万6000㎡
操業開始：2009年12月予定
