JSRは11月25日、三重県四日市の先端リソグラフィ材料新工場を稼働させ、ＡｒＦレジストの有償出荷を開始したと発表した。
新工場は2009年春に完工していた。
40ナノメートル世代の半導体製造プロセスが本格的に立ち上がってきたことにあわせたArFフォトレジストの需要増加に応じた出荷。顧客の需要にこたえるだけでなく、高品質で、安定的、効率的に製品を供給できる体制を強化していく。フォトレジストは、フォトリソグラフィにおいて使用される組成物で、光や電子線などによって溶解性などの物性が変化する。
同社は2007年1月から、顧客の要望に対応するため、「欠陥ゼロ」を実現するための新しいコンセプトを導入した精密製造ラインを稼働させている。今回の新工場は実績をもとに建設した。
需要の動向をみながら、効率的に工場運営を行い、2012年以降の需要量にも対応できると同社は見ている。
