(株)東芝は、半導体メモリの生産拠点である四日市工場(三重県四日市市)において、生産効率の高い300ミリウェハーに対応した新製造棟の建設を開始した。
製造装置も含めた新製造棟にかかる投資総額の計画は、2006年までの4年間で、約2,700億円を見込んでおり、市況を見極めながら段階的に投資を実施する。
このうち、製造装置については、同社とサンディスクコーポレーション(本社:米国カリフォルニア州)が共同で投資する。
新製造棟は、両社で共同開発した最先端90nmプロセス技術を用いたNAND型フラッシュメモリを、2005年度下期から月産10,000枚規模で量産開始する。
フル稼働時の生産規模の計画は、月産37,500枚で、生産するウェハーは両社で均分する予定で、さらなる生産設備の追加等によって、月産62,500枚までの生産に対応できるスペースを有している。
また、新製造棟の製品に適用するデザインルールは、2006年度上期には次世代70nm、2007年には次々世代55nmプロセス技術に順次移行していく計画。
今後も拡大が見込まれる旺盛な需要にこたえるため、新製造棟にかかる投資総額の計画を約2,700億円と、約700億円増額する。
新製造棟の概要
建物構造:鉄骨造5階建
建家面積約24,300m2
延床面積約113,000m2
クリーンルーム面積約34,500m2
着工2004年4月
建物完成2004年12月(予定)
量産開始2005年度下期(予定)