日立製作所／臨海工場にパワー半導体製造工場を増設

日立製作所は、日立事業所臨海工場(茨城県日立市／以下：臨海工場)内にあるパワー半導体のウエハ製造工場を増設する。

増設する建屋面積は3,000m2で、内2,400m2をクリーンルームにあて、シリコンウエハを専門に製造する。2004年12月に着工し、2005年10月以降稼働予定。

6インチウエハを製造した場合、現状が月産5,000枚であるのに対し、2006年度には約4割増産の月産7,000枚となる見通しで、将来的には月産最大14,000枚まで増産可能となる。投資額は約20億円。