セントラル硝子/宇部工場で六フッ化タングステンの設備増設

2015年10月07日 

セントラル硝子は10月7日、宇部工場(山口県宇部市)の六フッ化タングステン(WF6)の製造設備について増設を決めた。

WF6を使用する半導体業界では、プロセスの微細化に伴い今後使用量の大幅な増加が見込まれ、需給が逼迫しているため、製造能力150 トン/年を有する新設備を建設する。

設備の稼動時期は2017年1月を見込んでいる。

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