住友精密工業は10月19日、アビザ・テクノロジー（Aviza Technology）との間で、一部事業を譲り受ける買収を実施したと発表した。2社は、ことし8月に買収契約を交わしていた。
買収事業の内容は、APCVD、PVD、CVD、プラズマエッチャーなど。
アビザは半導体やMEMSデバイスの製造プロセスに使用される装置分野で長年培ってきた技術と販売サービス網を有している。住友精密の英国100％子会社のサーフィス・テクノロジー・システムズ（Surface Technology Systems）をはじめとして、従来からMEMS関連事業を展開してきた。
アビザの一部事業を買収して、一体運営することにより、製造プロセスの最適ソリューションをパッケージにて提供することが可能となる。世界的に強固な事業基盤を構築することを目指す。
