三菱ガス化学は7月12日、超純過酸化水素の製造の子会社 MGC Pure Chemicals America(MPCA)の新工場を、米国オレゴン州とテキサス州の2か所に新設すると発表した。
新工場の建設により、北米における超純過酸化水素の製造拠点を3か所とし、生産能力を倍増することで、半導体産業のさらなる成長に貢献するとともに、超純過酸化水素での世界のリーディングカンパニーとして、さらなる発展を目指す。
超純過酸化水素は、主に半導体のウエハやデバイスの製造工程で、洗浄・エッチング・研磨剤として使用される。
昨今、半導体の微細化に伴い、より高品質な薬液要求が高まっている。また、IoT や AIによる用途拡大により、半導体市場は長期的に成長していくものと予想している。
■増設計画の概要
総投資額:6000万 US$以上
米国オレゴン州新工場
生産能力:3万5000トン/年
スケジュール:2019年生産開始予定
米国テキサス州新工場
生産能力:3万5000トン/年
スケジュール:2019年生産開始予定
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